Fokusbasierte Tiefenvermessung zur Qualitätsprüfung bei der Mikrostrukturierung



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Fokusbasierte Tiefenvermessung zur Qualitätsprüfung bei der Mikrostrukturierung
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Im vorliegenden Buch steht die Vermessung von Strukturen im Bereich weniger bis einiger hundert Mikrometer bei der Fertigung im Vordergrund. Aufgrund der Fertigungsumgebung, bei der Temperaturschwankungen und Erschütterungen entstehen können, kommen nur robuste und störungsunanfällige Messsysteme in Betracht. Um den Kosten- und Integrationsaufwand gering zu halten und dem geforderten axialen Messbereich zu genügen, wurde ein fokusbasiertes System bestehend aus einem Mikroskop, Positioniereinheit und diffuser Beleuchtung entwickelt. Der Vorteil der Prüfung der Strukturen am Fertigungsort im Gegensatz zu herkömmlichen Messmethoden, bei denen das Objekt von der Bearbeitungsstelle entfernt werden muss, liegt in der deutlich kürzeren Zeitdauer, die für die Prüfung benötigt wird. Einsatzgebiet des in der Arbeit entwickelten Messverfahrens ist die Prüfung von Prototypen und Kleinserien bzw. die Stichprobenkontrolle in der Produktion während des Fertigungsprozesses.
Autor/-in

About the author

Daniel Schaper studierte an der Universität Hannover Elektrotechnik mit Studienrichtung Technische Informatik. Von 2000 bis 2003 arbeitete er als Wissenschaftlicher Mitarbeiter am Institut für Theoretische Nachrichtentechnik und Informationsverarbeitung der Universität Hannover auf dem Gebiet der industriellen Bildverarbeitung.
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Lieferzeit 2-3 Tage / 2-3 days
Autor/-in Daniel Schaper
Anzahl der Seiten 164
Sprache Deutsch
Erscheinungsdatum 31.05.2004
Gewicht (kg) 0.2450
ISBN-13 9783898213691